MRS-4의 전체 크기는 약 9 x 9 x 2.3mm입니다. 표준은 석영으로 만들어졌기 때문에 쉽게 칩을 만들 수 있습니다. MRS-4를 위해 선택적 보호 유지 장치를 주문하는 것을 강력히 권장합니다.

표준은 초고진공 호환 전도성 은 에폭시를 사용하여 리테이너에 장착됩니다. 두 가지 선택적 보유자를 선택할 수 있습니다:

• #614-5 ? 직경 25mm, 두께 3mm의 SEM/R. 광 투과광, SEM, FIB 및 SPM 응용에 사용할 수 있습니다. 재질은 알루미늄, Ni 도금입니다. 표준 오목: 0.5mm
• #614-6 ? 44.5 x 25.4 x 3.2mm 광학 현미경 어댑터인 OM/R은 광학 현미경에 쉽게 맞습니다. 재질은 알루미늄입니다. 표준은 약간 움푹 들어가 있으며, 0.13mm입니다.

#614-5 SEM/R 보호 리테이너는 옵션으로 25mm 핀 스터브(주문 번호 614-62) 또는 옵션으로 Ø25 x 10mm x M4 실린더 마운트(주문 번호 614-63)에 장착할 수 있습니다.

MRS-3의 특별 버전은 (S)용으로 제공됩니다직경 3mm, 두께 500?m의 TEM. 이것은 중심 특징만 보여줄 것이며, 전송된 전자가 아닌 이차 전자와 후방 산란 전자로 볼 수 있습니다.

정확성.

영국의 NPL(NIST)에서 측정한 결과, 500 ?m의 정확도는 ±0.25 ?m, 50 ?m 및 2 ?m 패턴의 정확도는 ±0.1 ?m인 것으로 나타났습니다. 1 ?m 및 1/2 ?m 패턴의 정확도는 ±0.04 ?m입니다.

인증 보고서

인증은 ISO 지침에 따라 이루어집니다. 각 MRS-4에는 표준에 새겨진 고유한 일련 번호가 있습니다. 인증에는 일련 번호, 인증 날짜, 운영자, 사용된 기기, 실제 패턴 측정 및 정확도 측정이 포함됩니다.
NIST = 미국 국립표준기술연구소
NPL = 영국 국립 물리 연구소(NIST 대응)

Sample Certificate for MRS-4 (PDF 301KB)

MRS 표준의 오염을 방지하기 위해 표준을 진공 상태에서 보관하는 것이 좋습니다. 핀 스텁에 장착된 MRS 스탠다드의 경우, PELCO® SEM 핀 스텁 진공 건조기가 이상적입니다.